日媒惊叹：中国或有望成荷兰和日本后第三个独立制造光刻机的国家

技术壁垒难逾越

　　光刻机在芯片行业里就是个大宝贝，基本决定了能造出多先进的芯片。全球市场基本上被荷兰的ASML给垄断了，尤其是那种极紫外线EUV的设备，只有他们一家能大规模生产，用来做7纳米以下的精细活。其他国家想搞高端芯片生产，离不开这个。

　　深紫外线DUV领域，ASML的市场份额也高得吓人，ArFi和ArF类型分别占了差不多97%和80%。这设备不是一家之力就能成的，它集成了美国的光源技术、德国的精密镜片、日本的化学材料啥的，简直是个国际大杂烩。

　　早几年，日本在光刻胶上掌控了全球90%的市场，那地位稳得很。2022年，日本一家光刻胶企业的老总埃里克约翰逊在采访里头直言，中国人就算拿到化学成分的论文，也造不出EUV能力。

　　因为核心东西太难突破了，光源得体积小功率高还稳定，美国公司Cymer掌握着成熟技术；反射镜得高精度高光滑，德国厂商才能达到标准；再加上复合材料、光刻胶、高纯度化学品，多半是日本专利。那个时候，大家都觉得中国芯片产业最大的短板就是这个，半导体皇冠上的明珠，离中国挺远的。

　　其实，中国从2020年起就在帮ASML组装光刻机，出货量占全球20%，这不光是打工，还在里头学了不少东西。工厂里头研究着这些设备的运行原理，逐步积累经验。本土企业也没闲着，从基础的深紫外线DUV入手，避免一上来就硬碰最难的EUV。

　　比方说，传统光刻机路线从i-line到KrF、干式ArF，再到浸没式ArFi，然后才轮到EUV。中国去年曝光的氟化氩光刻机，193nm波长，套刻精度8nm以内，属于DUV范畴，差距是有的，但也在一步步缩小。

　　自主突破在路上

　　日本媒体《日经亚洲》今年7月的一篇文章里，说中国很可能成为继荷兰和日本后，全球第三个能自己造全套光刻机的国家。这判断不是空穴来风，基于中国最近在关键技术上的实打实进展。上海微电子在浸没式光刻机上头下功夫，不断攻关，还有初创企业在专用设备上突破，中国正打造从成熟芯片到特色工艺的技术链，在全球变化中找机会。

　　以前总拿中国光刻机和ASML的高端EUV比，觉得没那个才不算厉害，但这忽略了实际发展。多条路线并行，才是中国策略。首先传统路线，上海微电子做了ArF光刻机，接下来浸没式DUV，然后EUV，步步为营。

　　2025年12月，上海芯上微装科技交付了AST6200型350nm步进光刻机，虽然制程不是最先进，但参数正好对上第三代半导体需求，解决行业痛点。这设备套刻精度正面80nm、背面500nm，能兼容碳化硅、氮化镓等材料，对5G基站、新能源汽车电控系统、Micro LED显示屏芯片够用，国产化率83%，核心零部件基本中国造。

　　EUV是最难的，但中国在光源上头有动静，哈工大产线试运行，支撑原型测试。纳米压印和电子束多路线并行。纳米压印过去日本佳能领先，线宽14nm，对应5nm制程。但今年璞璘科技的PL-SR系列喷墨步进式设备交付，线宽<10nm，用于存储芯片、硅基微显、硅光、先进封装，已量产，不是纸上谈兵。

　　电子束路线，浙江大学团队推出国产商业电子束光刻机“羲之”，精度0.6nm，线宽8nm，用电子束刻电路，已有成品，进入应用测试。这些分散突破，其实是组合拳，互相支撑中国半导体突围。随着制程接近物理极限，先进封装成延续摩尔定律的关键，通过2.5D/3D堆叠、异构集成，解决不少问题。

　　台湾资深芯片专家说，中国在先进封装领先，突破EUV时机成熟。产业链齐全，门类不错，万事俱备，只欠东风。成熟制程芯片占全球需求70%，中国从低端往高端走，2025年进口高，但国产加速。像SSA600用在90nm线上。日媒报道不严谨，日本荷兰也依赖美国技术，光刻机是人类大工程，未来趋势看，或只有中国能一国完成独立研发。

　　中国光刻机全产业链在建，多年努力见效。光刻胶领域，A股20多家企业，高纯度化学品进展大，将来氮化镓第二代芯片出来，原材料在中国手里，趋势有利。

　　2025年第三季度，中国自产EUV机器进入试生产，采用激光诱导放电等离子技术，更简单可靠。搭载LDP的SMEE-3600光刻机，在华为工厂启动压力测试，这标志着从实验室到实际应用的跨越。

　　尽管国际上有些声音炮轰ASML别卖DUV给中国，称可能涉军，但中国企业实力在增。北方华创和新凯来技术在半导体设备展上人气高，涉足广泛制造设备。中国瞄准6nm芯片，半导体制造设备实力大增，这是日经的观察。佳能向Rapidus出资助力，但中国本土路径稳扎稳打。

　　半导体供应链风险在，但中国应对有方。光刻胶断供传闻虽有，日本正式表态尘埃落定，但中国国产率升，影响可控。到了2025年，国产电子束光刻机推向市场，虽然某些指标可能不如ASML，但已能满足需求。ASML中国市场遭遇挑战，但这也推动本土创新。

　　整体看，中国在半导体领域发力，正当时。独立制造光刻机不是梦，继荷兰日本后第三个国家，这前景靠谱。全球合作主流，但自力更生是底气。未来，中国或实现一国闭环，科技大工程在这里落地。