光刻机是造芯片的核心设备,以前全靠进口。荷兰ASML垄断全球九成市场,美国限制咱们买先进设备。最近有外媒说中国可能成继荷兰日本后第三个能自己造全套光刻机的国家,但也有人反驳说搞错了。

  其实咱们早能做低端光刻机了,像上海微电子就能生产ArF型号。现在他们正攻关更先进的浸没式光刻机,据说快成功了。还有一些新技术路线也在推进,比如电子束光刻机,浙大研发的羲之机精度做到0.6纳米,线宽8纳米,已经进入测试阶段。

  荷兰ASML看起来很强,但他们的零部件七成来自其他国家。比如光源是美国公司做的,镜头需要德国蔡司。反观咱们,虽然光刻机还没他们先进,但国内光刻机产业链配套完善,国产化率已有八成多。很多关键部件都能自己造了。

  中国光刻机争取世界前三,引发外资质疑,未来或重塑芯片产业格局

  日本曾经的光刻机巨头现在卖的主要是中低端产品,市场占比越来越低。但他们手里还有光刻胶这种关键材料,占全球九成份额。不过咱们这几年也在搞光刻胶国产化,陆续有企业突破技术壁垒。

  有些外媒觉得咱们可能被高估了,毕竟荷兰和日本也有几十年积累。但支持一方指出,咱们的技术路线更全面,传统光刻机和新兴技术同步推进。比如纳米压印设备,璞璘科技已经做出首台商用机并交付了。

  美国限制咱们买高端设备,反而加速了自主研发。现在不光是光刻机,配套材料和设计软件都在往前赶。虽然离顶尖水平还有差距,但进步速度很快。荷兰ASML最近又收紧对中国出口EUV光刻机,这可能进一步倒逼咱们加快节奏。

  中国光刻机争取世界前三,引发外资质疑,未来或重塑芯片产业格局

  光刻机产业是个复杂的系统工程,光刻胶、镜头、光源这些都要自己搞定。现在咱们大部分门类都覆盖到了,剩下的关键点在一步步突破。有报道说,中科院正在研发反射镜,清华在做极紫外光源项目,这些都是ASML的核心技术。

  荷兰和日本虽然起步早,但核心部件依赖海外供应商。而咱们的全产业链布局或许能让光刻机更自主可控。现在争论焦点在于,到底算不算"全套自造"。如果零部件都能国产,那确实称得上独立制造。

  光刻机这场竞赛不只是谁更快上市新产品,更是看谁能建立更完整的产业生态。现在看,中国正在快速补全各个环节。未来芯片制程会越来越细,但技术路线上可能不只是ASML一家说了算。

  中国光刻机争取世界前三,引发外资质疑,未来或重塑芯片产业格局

  最近两年国内光刻机相关专利数量激增,研发团队扩编明显。高校和企业联合攻关成了常态,像浙江大学电子束项目就是校企合作的成果。政府资金也往这个方向倾斜,支持力度比前些年大得多。

  有人说这波进展被过度宣传,但数据不会说谎。从2015到2023年,国产光刻机出口量增长了4倍,主要销往东南亚等地。虽然还都是中低端机型,但市场需求实实在在存在。国际检测机构报告指出,中国光刻机稳定性测试达标率从30%提升到70%。

  荷兰和日本的企业也在调整策略。佳能开始做光刻机零部件代工,尼康推出定制化改造服务。这说明他们意识到单纯卖设备可能不够了。中国这边除了做设备,还孵化出一批做光刻机软件和维护服务的初创公司。

  中国光刻机争取世界前三,引发外资质疑,未来或重塑芯片产业格局

  整个半导体行业的变化肉眼可见。台积电南京厂开始试用国产光刻机,三星电子在华研发中心采购了国内产的非尖端设备。这些实际应用案例说明,国产光刻机开始进入产业验证阶段。

  技术差距确实存在,但追赶速度超出预期。现在连日本媒体都承认三年前低估了中国的研发力度。未来五年是关键窗口期,等我们在EUV光源和精密镜头上突破后,可能真会改写全球格局。