美智库专家曾质疑:不经美国的点头,中国怎么能私自研发高端光刻机呢?
美国从2018年开始就把芯片产业当成战略博弈的主战场,先是实体清单,后是出口管制,一步步把ASML的EUV光刻机彻底堵死在中国门外。
荷兰政府2023年底、2024年初连续收紧许可证,连已经签好合同的浸润式DUV都开始卡维护备件。意思很明确:你们可以用老设备把库存耗完,但想往7nm以下走,必须过我们这关。

美国智库的报告一年比一年狠。2025年高盛那份直接说中国光刻机整体落后20年,CSIS、CSET的分析也差不多调子:中国短期内造不出商用EUV,供应链太依赖海外零部件,光学系统、工作台、浸润系统随便哪一项都能被掐死。
他们说得头头是道,仿佛只要美国继续收紧螺丝,中国半导体就只能原地踏步。可现实偏偏不按他们的剧本走。
中国企业早在管制全面升级前,就把能买的DUV几乎扫光了。中芯国际、华虹、长江存储的产线,足够把现有工艺跑到极致。
更重要的是,这几年被迫把整条产业链往回拉,光刻胶、靶材、掩膜版、光源、双工作台,这些过去完全靠进口的子系统,现在国产比例已经高到让美国智库都开始改口了。
他们最慌的其实就是这一点:过去打压日本的时候,只要掐住尼康和佳能就行;打压欧洲的时候,卡住蔡司和ASML的核心部件就行。
可现在中国把90%以上的供应链都搬到本土,美国发现自己手里那把刀,第一次找不到下嘴的地方。

上海微电子的28nm浸润式光刻机早就开始批量供货了,2024年底到2025年,国内几大厂的7nm扩产线已经敢把国产设备当成主力机型来用了。良率虽然还有差距,但差距在肉眼可见地缩小。
更别提清华大学那条SSMB-EUV光源路线,完全不走ASML的LPP老路,2025年好几篇Nature子刊的论文把国际同行都看沉默了。
美国人原来以为,只要把EUV光刻机卡死,中国就永远被锁在10nm以上。可他们忘了,技术路线从来不是只有一条路。
当你把最顺的那条路堵死的时候,别人就会去开一条更难走的路,但一旦走通,可能就再也拦不住了。

2025年下半年开始,东南亚和东欧几家晶圆厂悄悄把采购清单从ASML转到了中国设备商。价格不到对方三分之一,维护又方便,美国再想用备件卡脖子也卡不到了。
这事儿说到底,就是一句话:核心技术要不来、买不来、讨不来,那就只能自己造。美国越是使劲卡,越是把中国逼上了一条没有退路的自研之路。
现在回头看,他们当初那份自信,反而成了加速中国半导体产业闭环的最大推手。
历史总是这么讽刺。你越想让别人永远买你的东西,别人反而越下决心自己造。等哪天中国把EUV或者替代技术真正跑通的时候,估计华盛顿才会真正明白,当年那句傲慢的质问,其实是在帮中国破釜沉舟。

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